華夫板是一種新型的結(jié)構(gòu)系統(tǒng)。華夫格結(jié)構(gòu)的質(zhì)量直接影響潔凈室的功能。根據(jù)附圖的要求，如何合理，有效地安排施工程序，減少甚至消除華夫板樓板裂縫的泄漏，并一次控制混凝土表層的平整度。程度（設(shè)計(jì)要求表面平整度為3mx3m，且誤差不超過3mm）是華夫板安裝施工控制的重點(diǎn)。

華夫板適用于對(duì)清潔度和抗振動(dòng)功能要求很高的精密儀器生產(chǎn)廠項(xiàng)目的生產(chǎn)，尤其適用于芯片廠的潔凈室應(yīng)用。下面介紹一下華夫板施工工藝原理。

一般潔凈等級(jí)較高之潔凈室，其廠房均設(shè)有次潔凈區(qū)，使得潔凈室中含微粒之氣流經(jīng)由高架地板及潔凈室樓板進(jìn)入到次潔凈區(qū)，再由抽風(fēng)設(shè)備將次潔凈區(qū)之氣流抽至潔凈室天花板之濾網(wǎng)，重新過濾出潔凈且穩(wěn)定之氣流，而產(chǎn)生一個(gè)循環(huán)系統(tǒng)，這使得潔凈室樓板須留有足夠之回風(fēng)孔，使?jié)崈羰抑畾饬鹘?jīng)由此回風(fēng)孔送到次潔凈區(qū)。